一、校準前準備：明確基準與環(huán)境控制

 

　　校準的第一步是“定標準”。需依據(jù)國家計量檢定規(guī)程（如JJG818-2017《表面粗糙度比較樣塊校準規(guī)范》）或儀器說明書，選擇經(jīng)溯源的高等級標準器——通常為多刻線樣板（Ra值覆蓋常用范圍）或標準粗糙度比較樣塊。同時，環(huán)境控制至關(guān)重要：溫度應(yīng)穩(wěn)定在（20±2）℃，濕度≤80%RH，避免振動、強電磁干擾及氣流擾動，否則會導(dǎo)致傳感器信號漂移或機械結(jié)構(gòu)形變。此外，需檢查儀器外觀無損傷，測針無磨損，電纜連接牢固，確保硬件狀態(tài)正常。

 

　　二、校準實施：從基礎(chǔ)到參數(shù)的全流程驗證

 

　　1.零點與示值誤差校準：開機預(yù)熱30分鐘至穩(wěn)定后，將測針輕觸標準器的平面區(qū)域，執(zhí)行“調(diào)零”操作，消除初始偏移。隨后選取3-5個不同Ra值的標定點（覆蓋儀器量程的20%-100%），依次測量并記錄示值。計算示值誤差=（儀器顯示值-標準值）/標準值×100%，需滿足規(guī)程要求（如±5%以內(nèi)）。

 

　　2.重復(fù)性校準：對同一標定點連續(xù)測量10次，計算標準差（S），重復(fù)性誤差=S/平均值×100%，通常要求≤3%，以驗證儀器抗隨機干擾能力。

 

　　3.傳感器線性度與測力校準：通過更換不同規(guī)格測針（如2μm、5μm半徑）或調(diào)整測力（0.5-1.5mN），驗證不同工況下的測量一致性；部分高精度儀器需額外校準X軸位移精度，確保掃描軌跡與理論輪廓匹配。

 

　　三、校準后處理：記錄、修正與周期管理

 

　　校準完成后，需詳細記錄標準器信息、環(huán)境條件、各參數(shù)測量結(jié)果及誤差值，形成可追溯的校準報告。若發(fā)現(xiàn)超差（如示值誤差＞5%），需通過調(diào)整儀器內(nèi)部參數(shù)（如放大倍數(shù)、濾波器截止頻率）或更換損壞部件（如測針、導(dǎo)軌）進行修正，并重新驗證直至合格。最后，根據(jù)使用頻率與場景風(fēng)險，制定校準周期（通常建議6-12個月），并在儀器上粘貼校準標識，注明有效期。